Präzisionskeramische Teile Halbleiter Wafer Chuck

Präzisionskeramische Teile Halbleiter Wafer Chuck

Die semiXicon-Serie von porösen Vakuumschlägern ist für den Umgang mit dünnen Folien und anderen flexiblen Werkstücken ausgelegt.Der Schlauch hat einheitlich verteilte Porengrößen, um eine wünschenswerte Saug- und Halteleistung für sehr dünne Folien zu gewährleisten.Es wird weit verbreitet in Elektronik, Halbleiter, In den Bereichen Solarenergie, Medizin und optische Laser-Mikrofabrikation usw.

Wir können sie individuell für Ihre Anwendung entwerfen, um sie in individuelle Arbeitsplätze zu verwandeln oder in Ihre Produktionslinien zu integrieren.

Keramisches Material: Aluminiumoxid, Siliziumkarbid
Aperture: 1 bis 100 μm
Porosität: 30% bis 60%
Beugfestigkeit: > 50 MPa
Verarbeitungsgenauigkeit: ±0,003 mm, Flachheit 0,003 mm
Eigenschaften des Erzeugnisses: Verschleißfestigkeit, Hochtemperaturbeständigkeit, hohe Härte, Korrosionsbeständigkeit
Verfügbare Farben: beige, schwarz
Besonderheiten: 6 Zoll, 8 Zoll

Anwendungen:

Halbleiter
Dünnschicht
Optische
Sonnenenergie
MEMS
Batterie
Biomedizinische
Ich...