Schlauch aus Keramik

Industrieller Keramik-Chuck

Im Halbleiterbereich haben das Ausdünnen und Vereinzeln von Wafern nach jahrelanger Entwicklung einen relativ hohen Reifegrad erreicht, und auch die Ausdünnungsgeräte für Wafer werden immer ausgefeilter. Keramik-Chucks werden als Ladevorrichtungen bei der Verarbeitung von Wafern verwendet. Die Adsorptionsfläche des Keramik-Chucks besteht aus mikroporöser Keramik, die luft- und wasserdurchlässig ist, während der äußere Ring des Keramik-Chucks mit dichter, nicht-durchlässiger Aluminiumoxid-Keramik abgedichtet ist, um ein Vakuum aufrechtzuerhalten und so gute Trag- und Adsorptionsfähigkeiten zu gewährleisten.

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