Produktdetails:
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Anwendung: | integrierte Schaltungen, Detektor-/Sensor-Gerät, MEMS-Herstellung, optoelektronische Komponenten und | Durchmesser: | Ø 2"/Ø 3"/Ø 4"/Ø 6"/Ø 8"/Ø 12" |
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Oxid-Stärke: | 100 A | 6 um | Grad: | Haupt-/Test/blinder Grad |
Hervorheben: | Höhere Einheitlichkeits-thermische Oxid-Oblate,thermische Oxid-Oblate als Isolator,2" thermische Oxidsiliziumscheibe |
Thermische Oxid-Oblate, höhere Einheitlichkeit und höhere Durchschlagsfestigkeit, ausgezeichnete dielektrische Schicht als Isolator
Thermische Oxid- oder Siliciumdioxidschicht wird auf bloßer Silikonoberfläche bei erhöhter Temperatur in Anwesenheit eines Oxydationsmittels, der Prozess wird genannt thermische Oxidation gebildet. Thermisches Oxid wird normalerweise in einem horizontalen Rohrofen, an der Temperaturspanne von 900°C gewachsen | 1200°C, entweder unter Verwendung einer „nass“ oder „trockenen“ Wachstumsmethode. Thermisches Oxid ist eine Art „gewachsene“ Oxidschicht, verglichen mit CVD legte Oxidschicht nieder, hat sie eine höhere Einheitlichkeit, und höhere Durchschlagsfestigkeit, ist es eine ausgezeichnete dielektrische Schicht als Isolator. Im meisten Silikon basierte Geräte, spielen thermische Oxidschicht eine wichtige Rolle, um die Silikonoberfläche zu beruhigen, um als Lackieren von Sperren und als Oberflächendielektrika aufzutreten. wir stellen thermische Oxidoblate im Durchmesser von 2" bis 12" zur Verfügung, wählen wir immer Hauptgrad und fehlerfreie Siliziumscheibe als Substrat für das Wachsen der thermischen Oxidschicht der hohen Einheitlichkeit, um Ihre spezifischen Bedingungen zu erfüllen. Treten Sie mit uns für weitere Information über Preis u. Lieferfrist in Verbindung.
Thermische Oxid-Fähigkeit
Gewöhnlich nach thermischem Oxidationsprozeß, haben Vorderseite und Rückseite der Siliziumscheibe Oxidschicht. Falls nur eine Seitenoxidschicht angefordert wird, können wir Oblate des Oxids und des Oxids der Seite des Angebots eins thermische für Sie zurück entfernen.
Oxidstärkestrecke | Oxidationstechnik | Innerhalb der Oblate Einheitlichkeit |
Oblate zur Oblate Einheitlichkeit |
Oberfläche verarbeitet |
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100 Å | 500Å | trockenes Oxid | +/- 5% | +/- 10% | beide Seiten |
600 Å | 1000Å | trockenes Oxid | +/- 5% | +/- 10% | beide Seiten |
100 Nanometer | 300 Nanometer | nass Oxid | +/- 5% | +/- 10% | beide Seiten |
400 Nanometer | 1000 Nanometer | nass Oxid | +/- 3% | +/- 5% | beide Seiten |
1 um | 2 um | nass Oxid | +/- 3% | +/- 5% | beide Seiten |
3 um | 4 um | nass Oxid | +/- 3% | +/- 5% | beide Seiten |
5 um | 6 um | nass Oxid | +/- 3% | +/- 5% | beide Seiten |
Thermische Oxid-Oblaten-Anwendung
100 A | Tunnelbau-Tore |
150 A | 500 A | Tor-Oxide |
200 A | 500 A | LOCOS füllen Oxid auf |
A 2000 | 5000 A | Maskierungsoxide |
3000 A | 10000 A | Feld-Oxide |
Produktbeschreibung
Qxidations-Technik | Nassoxidation oder trockene Oxidation |
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Durchmesser | Ø 2"/Ø 3"/Ø 4"/Ø 6"/Ø 8"/Ø 12" |
Oxidstärke | 100 A | 6 um |
Toleranz | +/- 5% |
Oberfläche | Simplex oder doppelte Seitenoxidschicht |
Ofen | Horizontaler Rohrofen |
Gase | Wasserstoff- und Sauerstoffgase |
Temperatur | 900 C ° - C-° 1200 |
Brechungskoeffizient | 1,456 |
Ansprechpartner: Daniel
Telefon: 18003718225
Faxen: 86-0371-6572-0196