Bei der Konstruktion von Ultra-High-Vacuum (UHV) und Extrem-High-Vacuum (XHV) -Systemen ist MaterialAusgasungDie Verarbeitung von Schadstoffen ist ein wichtiges Hindernis für die Aufrechterhaltung des ultimativen Vakuumniveaus.Macor® bearbeitbare GlaskeramikDurch seine einzigartige Weiterentwicklung in der "Zero Porosity"-Technologie bietet es Vakuumingenieuren ein ideales Material, das die keramische Leistung bei außergewöhnlich niedrigen Abgasraten ausgleicht.
Auf mikroskopischer Ebene sind die meisten industriellen Materialien nicht vollkommen dicht.
Der Fallenwirkung: Herkömmliche Keramiken und Polymere enthalten oft Poren von Mikrongröße, die als "Fallen" für Wassermoleküle, Kohlenwasserstoffe und Atmosphärengase dienen.
Der Abgasprozess: Beim Abpumpen diffundieren diese eingeschlossenen Gase langsam durch Mikrokanale an die Oberfläche und werden in die Kammer freigesetzt, wodurch anhaltende "virtuelle Lecks" entstehen.
Macor®®s Fortschritt: Durch die präzise Integration hochkristalliner Fluorophlogopit-Glimmentrophletten in eine Glasmatrix erreicht Macor®0% PorositätDies bedeutet, dass es keinen internen Raum für die Gasbindung gibt, wodurch das Risiko einer Massenausgasung grundsätzlich beseitigt wird.
Bei der Auswahl von B2B-Materialien muss die Vakuumkompatibilität durch technische Parameter validiert werden.
Null Porosität (0%): Gewährleistet keine Durchlässigkeit oder Einfangenheit und erleichtert einen schnellen Abstieg auf UHV-Drucke.
Heliumdurchlässigkeit (<10^{-10}$cc/s): Bietet eine überlegene hermetische Dichtung für Vakuumgehäuse und Detektoren.
Ausbrüchende Haltbarkeit (800°C): Ermöglicht aggressive Hochtemperatur-Ausbauchzyklen zur Entfernung von Oberflächenadsorbaten ohne strukturellen Abbau.
Chemische Trägheit: Eine anorganische, nichtmagnetische Zusammensetzung gewährleistet keine Zersetzung oder Metallkontamination unter Vakuumbelastung.
Dank seiner Abgaskontrolle ist Macor® in reinheitskritischen Industriezweigen unverzichtbar:
Implantation von Halbleiter-Ionen: In intensiven Ionenstrahlumgebungen setzen die Macor®-Träger unter thermischer Belastung keine Verunreinigungen frei, wodurch die chemische Reinheit der Wafer gewahrt bleibt.
Synchrotronlichtquellen: Für optische Montage verwendet, seine nichtmagnetische Natur und Vakuumstabilität halten die Ausrichtung der Strahllinien mit Mikrometerpräzision.
Vakuum-Zulassungen: Als mehrspinniger Isolator ist seine Kombination aus45 kV/mmDie dielektrische Festigkeit und 0% Porosität schaffen ein perfektes Gleichgewicht zwischen Leistungsübertragung und hermetischer Dichtung.
Für die weltweiten Vakuumsystemintegratoren kann der Wert von Macor® durch folgende strategische Vorteile beurteilt werden:
Verkürzte Backzyklen: Da das Material keine Massenverschmutzungen absorbiert, ist die Zeit bis zum letzten Vakuum im Vergleich zu porösen Alternativen deutlich verkürzt.
Inhouse-Fertigung komplexer Bauteile: Vakuumkammerinnere erfordern oft komplexe Geometrien.Die Bearbeitbarkeit von Macor® ermöglicht es den Ingenieuren, Teile mit Präzisionsfäden und Lüftungsöffnungen (um Gasverstopfungen in Blindlöchern zu verhindern) mit Standardwerkzeugen zu fertigen.
Stabilität des Lebenszyklus: bei Betriebstemperaturen bis800°C, Macor® beibehält gleichbleibende Abmessungen und verhindert dadurch belastungsbedingte Dichtungsstörungen durch thermische Ausdehnung, die bei anderen Isolierstoffen üblich sind.
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