Produktdetails:
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Anwendung: | Halbleiter (IC), Implantatsystem | Material: | 99,8 % Al2O3 |
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Farbe: | Weiß | Größe: | Angepasst |
Form: | Runde, die Bälle, unregelmäßig, Rohr, fertigte besonders an | Dichte: | >=3,9 g/cm3 |
Feature: | Hochreines Aluminiumoxid, hohe elektrische Isolierung, geringer dielektrischer Verlust | Produktname: | Aluminiumoxidkuppeln, Aluminiumoxidringe |
Hervorheben: | Hochreine Alumina-Keramikarm,990,8% Aluminium Keramikarm |
99,8 % hochreiner Aluminiumoxid-Keramikarm für Wafer-Laufwerke von Halbleitern
Von ZG Ceramic hergestellter Keramikarm für den Waferantrieb von Halbleitern zeichnet sich durch gute strukturelle Festigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Druckbeständigkeit, gute Genauigkeit, gute Parallelität, hohe Dichte und einheitliche Organisation aus.Seit vielen Jahren wird es von der Halbleiterfertigungsanlage verwendet.
ZG Ceramic verfügt über eine Gruppe exzellenter Ingenieure und genießt eine einzigartige hochkarätige Technologie in den speziell geformten Keramikverarbeitungsprojekten.Speziell geformte Verarbeitungstechnik ist die Stärke von ZG Ceramics.
Bereiche bedient:
Spezifikation:
特性项目-Elemente | 三氧化二铝Al2O3 | ||||||||
材质编号 Materialnummer. |
A99 | A997 | A997LT | A998 | A999 | ||||
Farbe | 白 Weiß | 象牙色 Elfenbein | 象牙色 Elfenbein | 象牙色 Elfenbein | 象牙色 Elfenbein | ||||
Reinheit (Gew.-%) | ≥99% | ≥99,7 % | ≥99,7 % | ≥99,8 % | ≥99,9 % | ||||
密度 Dichte |
g/cc | ASTM-C20 | 3.8 | 3.92 | 3.92 | 3,93 | 3,94 | ||
吸水率 Wasseraufnahme |
% | ASTM-C373 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
HV硬度 HV-Härte |
GPa | ASTM C1327-03 | fünfzehn | 17 | 16 | 18 | 18 | ||
抗弯强度 Biegefestigkeit |
MPa | ASTM C1161-02 | 365 | 370 | 390 | 400 | 400 | ||
抗压强度 Druckfestigkeit |
MPa | ASTM C773 | 2450 | 2500 | 2500 | 2500 | 2600 | ||
弹性衡量 Elastizitätsmodul |
GPa | ASTM C1198-01 | 360 | 375 | 385 | 385 | 385 | ||
波松比 Poisson-Zahl |
- | ASTM C1198-01 | 0,23 | 0,23 | 0,23 | 0,23 | 0,23 | ||
断裂韧性 Bruchzähigkeit |
Mpa*m1/2 | ASTM C1421-01 | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | ||
膨胀系数 Wärmeausdehnung RT |
×10-6/℃ Raumtemperatur 400 ℃ |
ASTM C372-94 | 7.2 | 8.2 | 8.2 | 8.2 | 8.2 | ||
热传导率 Wärmeleitfähigkeit |
W/(MK) | ASTM C408-88 | 29 | 32 | 32 | 32 | 33 | ||
耐热冲击 Thermischer Schock Widerstand |
℃ | - | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | ||
介电强度 Durchschlagsfestigkeit |
kV/mm | ASTM D149-97 | fünfzehn | fünfzehn | fünfzehn | 16 | 18 | ||
体积电阻率 Volumenwiderstand |
Ω.cm×1014 | ASTM D257-99 (20 °C) |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | ||
介电常数 Dielektrizitätskonstante |
- | ASTM D150-98 (1MHz) |
9.9 | 9.9 | 9.9 | 9.9 | 9.7 | ||
介电损耗 Tangens des dielektrischen Verlusts |
(×10-4) | ASTM D150-98 (1 MHz) |
20 | 10 | <2 | 10 | 5 | ||
硝酸 (60%), 90°C HNO3 |
WT-Verlust mg/cm2/D | - | 0,1 | <0,05 | <0,05 | <0,05 | <0,03 | ||
硫酸(95%), 95°C H2SO4 |
WT-Verlust mg/cm2/Tag | - | 0,33 | <0,23 | <0,23 | <0,23 | <0,2 | ||
氢氧化钠(30%), 80°C NaOH |
WT-Verlust mg/cm2/Tag | - | 0,26 | <0,04 | <0,04 | <0,04 | <0,02 |
Ansprechpartner: Daniel
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